过滤除菌的一般流程包括以下几个步骤（)。

A.把吸气口吸入的空气先进行压缩前过滤进入空气压缩机

B.从空气压缩机出来的空气(>0.2MPa，温度120～150º

C.，冷却至适当温度(20～25ºC)

D.除去油和水，再加热至30～35º

E.最后通过总空气过滤器和分过滤器除菌

F.F.获得洁净度、压力、温度和流量都符合工艺要求的灭菌空气。