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[主观题]

对于某种薄膜的CVD过程,淀积温度为900℃,质量传输系数hG=10cms-1,表面反应速率系数ks=1×107exp(-1.9eV/kT)cms-1.现有以下两种淀积系统可供选择(1)冷壁,石墨支座型;(2)热壁,堆放硅片型。应该选用哪种类型的淀积系统并简述理由。

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更多“对于某种薄膜的CVD过程,淀积温度为900℃,质量传输系数hG=10cms-1,表面反应速率系数ks=1×107exp(-1.9eV/kT)cms-1.现有以下两种淀积系统可供选择(1)冷壁,石墨支座…”相关的问题

第1题

在热扩散工艺中的预淀积步骤中,磷的扩散温度为()。

A.600~750℃

B.900~1050℃

C.1100~1250℃

D.950~1100℃

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第2题

()是通过把被蒸物体加热,利用被蒸物在高温时的饱和蒸汽压来进行薄膜沉积的。

A.蒸镀

B.溅射

C.离子注入

D.CVD

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第3题

2019指南新增:在降糖治疗中,对于T2DM合并CVD的T2DM患者,推荐使用恩格列净、卡格列净、达格列净,推荐等级为()

A.Ⅰa

B.Ⅱb

C.Ⅱa

D.Ⅲ

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第4题

电致变色器件可智能调控太阳光透过率,从而实现节能。下图是某电致变色器件的示意图。当通电时,Ag+注入到无色WO3薄膜中,生成AgxWO3,器件呈现蓝色,对于该变化过程,下列叙述错误的是()。

A.Ag为阳极

B.Ag+由银电极向变色层迁移

C.W元素的化合价升高

D.总反应为:WO3+xAg=AgxWO3

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第5题

LPCVD系统中淀积速率是受表面反应控制的,APCVD系统中淀积速率受质量输运控制。()
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第6题

损伤的分布与注入离子在在靶内的()的分布密切相关。

A.能量淀积

B.动量淀积

C.能量振荡

D.动量振荡

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第7题

举例说明化学气相沉积(CVD)的基本过程和主要应用。

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第8题

在常压连续干燥器中,空气经120℃饱和蒸气预热后送入干燥器以干燥某种湿物料。已知空气状况为:进预热器前空气水分分压为1.175kPa,温度为15℃,进干燥器前的温度为90℃,出干燥器时为50℃。物料状况为:初始水分为0.15kg水/kg干料,出干燥器时为0.01kg水/kg干料,干燥器生产能力为250kg/h(按干燥产品计算),预热器总传热系数为50W/(m2·℃),干燥系统的热损可忽略。试求:(1)所需空气的流量;(2)预热器的传热面积。
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第9题

土壤中所有的淀积层都出现在土壤剖面的下部。()

土壤中所有的淀积层都出现在土壤剖面的下部。()

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第10题

对于运行中的电动机,其轴承温度要求为()。

A.滑动轴承的温度应不超过95℃

B.滑动轴承的温度应不超过80℃

C.滚动轴承温度应不超过90℃

D.滚动轴承温度应不超过80℃

E.滚动轴承温度应不超过95℃

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第11题

将湿基含量为0.006kg水分/kg干空气的空气加热至90℃后送入干燥机干燥物料,干燥机出口热风温度为60℃,假设本干燥过程为理想干燥过程,则蒸发(kg水分)所需用热空气量(kg干空气)是下列哪个数值?

A.85

B.65

C.45

D.105

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